Метода мерења и праћења дебљине филма модерне машине за вакуумско облагање

Најдиректнији метод контроле премаза је метода микробаланса кварцних кристала (КЦМ), која може директно покретати извор испаравања и кружити преграду кроз ПИД контролу да би се одржала брзина испаравања. Све док је инструмент повезан са софтвером за контролу система, може контролисати цео процес наношења премаза. Али тачност (КЦМ) је ограничена, делом зато што прати квалитет премаза који се наноси, а не његову оптичку дебљину.

Такође, док је КЦМ веома стабилан на нижим температурама, постаје веома осетљив на температуру на вишим температурама. Током дужег загревања, тешко је спречити да сензор падне у ово осетљиво подручје, што узрокује значајне грешке у филму.

Оптички надзор је пожељан метод праћења високо прецизних премаза јер омогућава прецизнију контролу дебљине слоја (ако се правилно користи). Побољшање тачности произилази из многих фактора, али најосновнији разлог је праћење оптичке дебљине.

ОПТИМАЛНИ СВА-И-05 оптички систем за праћење са једном таласном дужином усваја индиректно мерење и контролу, у комбинацији са напредним софтвером за оптичко праћење који је развио др Ванг, да би ефикасно побољшао теорију и методу осетљивости оптичког одговора на промене дебљине филма до смањити крајњу грешку, обезбеђујући повратне информације или избор режима преноса и широк спектар таласних дужина за праћење. Посебно је погодан за праћење премаза различитих дебљина филма укључујући и неправилан надзор филма.