Увођење технологије наношења премаза вакуумским испаравањем

Технологија пресвлачења вакуумским испаравањем произвођача машина за вакуумско облагање укључује премаз отпоран на испаравање, премаз испаравањем електронским снопом, премаз за испаравање ласерским снопом, премаз за испаравање високофреквентног индукционог загревања итд. У следећој табели су наведене карактеристике неколико технологија евапоративног премаза.

1. Покривање отпорним испаравањем: Извор отпорног испаравања се користи за испаравање материјала ниске тачке топљења, као што су злато, сребро, цинк сулфид, магнезијум флуорид, хром триоксид, итд. Извори отпорног испаравања су углавном направљени од волфрама, молибдена и тантала.

2. Покривање испаравањем електронским снопом: Након што се филмски материјал испари и испари загревањем електронским снопом, важан је метод грејања у технологији вакуумског испаравања да се кондензује и формира филм на површини подлоге. Постоји много врста таквих уређаја. Уз широку примену технологије танког филма, не само да су захтеви за типове мембрана различити, већ су и захтеви за квалитет мембрана строжи. Отпор испаравања не може више да задовољи потребе испаравања неких метала и неметала. Извор топлоте електронског снопа може да добије много већу густину енергије од отпорног извора топлоте, а вредност може да достигне 104-109в/цм2, тако да се филм може загрејати до 3000-6000ц. Ово обезбеђује бољи извор топлоте за испаравање ватросталних метала и неметалних материјала као што су волфрам, молибден, германијум, СиО2, АИ2О3, итд. Штавише, пошто се материјал који треба испарити ставља у лонац хлађен водом, испаравање материјал контејнера и реакција између материјала контејнера и филмског материјала може се избећи, што је изузетно важно за побољшање чистоће филма. Поред тога, топлота се може директно додати на површину филмског материјала, тако да је топлотна ефикасност висока, а проводљивост топлоте и губици топлотног зрачења су мали.

3. Високофреквентно индукционо грејање, испаравање: Метал се загрева до температуре испаравања користећи принцип индукционог загревања. Поставите лончић који садржи филмски материјал у центар спиралне завојнице (бесконтактно) и прођите високофреквентну струју кроз калем, што може натерати материјал металног филма да генерише струју да се загреје док не испари.

Карактеристике извора испаравања индукционог грејања: 1) Брзина испаравања је велика 2) Температура извора испаравања је уједначена и стабилна, и није лако произвести феномен прскања капљица алуминијума 3) Извор испаравања се пуни у једном тренутку , није потребан механизам за довод жице, контрола температуре је релативно лака, а операција је једноставна 4) Захтеви за чистоћу материјала филма су нешто шири.

4. Покривање испаравањем са загревањем лука: Метода грејања слична методи загревања електронским снопом је метода загревања лучним пражњењем. Такође има карактеристике избегавања контаминације отпорних материјала за грејање или материјала за лончиће, а температура загревања је висока, посебно погодна за испаравање ватросталних метала, графита итд. са високом тачком топљења и одређеном проводљивошћу. У исто време, опрема која се користи у овој методи је једноставнија од опреме за грејање електронским снопом, тако да је релативно јефтин уређај за испаравање.

5. Покривање испаравањем ласерског снопа: Метода коришћења импулсног ласера ​​велике густине снаге за испаравање материјала да би се формирао танак филм се генерално назива ласерско испаравање